PECVD是什么
更新时间：2020-09-21 00:00:00
等离子体增强化学的气相沉积法。
实验机理：借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。
优点：基本温度低；沉积速率快；成膜质量好，针孔较少，不易龟裂。
缺点：设备投资大、成本高，对气体的纯度要求高；对小孔孔径内表面难以涂层；沉积之后产生的尾气不易处理。
保卡通专稿内容，转载请注明出处
不够精彩？
上一篇 : 欧派克会议是什么意思
下一篇 : 如何评价侏罗纪世界
网友关注生活百科
热门生活百科推荐